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저자정보
Jae Yoon An (한양대학교) Ki Woong Kim (한양대학교) Ja Bin Lee (한양대학교) Jin Pyo Hong (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
254 - 254 (1page)

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