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저자정보
차명준 (한국화학연구원) 김석환 (한국화학연구원) 김주호 (한국화학연구원) 이선숙 (한국화학연구원) 안기석 (한국화학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
178 - 178 (1page)

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