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송재현 (서울대학교) 김혁 (서울대학교) 정재철 (서울대학교) 황기웅 (서울대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
474 - 474 (1page)

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