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저자정보
문필경 (한국과학기술연구원) 박광민 (서울대학교) 윤의준 (서울대학교) 최원준 (한국과학기술연구원) Jean-Pierre Leburton (University of Illinois at Urbana-Champaign)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
89 - 90 (2page)

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