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박창균 (주성엔지니어링) 김재호 (주성엔지니어링) 유하진 (광운대학교) 권기청 (광운대학교) 홍진 (주성엔지니어링)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
198 - 198 (1page)

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