N₂O Plasma oxidation 방법으로 유리기판 상에 제작한 SiOxNy 박막의 제조 공정에 관한 연구

공대영; 장경수; 이준신

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 공대영 (호남대학교) 장경수 (성균관대학교) 이준신

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 164 - 164 (1page)

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