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저자정보
정재인 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 조성만 (씨에이치테크)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
137 - 137 (1page)

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