Study on Validity of 1-D Spherical Model on Aqua-plasma Power Estimation With Electrode Structure

윤성영; 장윤창; 김곤호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 윤성영 (서울대학교) 장윤창 (서울대학교) 김곤호 (서울대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.8

수록면: 74 - 74 (1page)

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