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저자정보
민혜근 (한국표준과학연구원) 김정원 (한국표준과학연구원) 문대원 (한국표준과학연구원) 이태걸 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
226 - 226 (1page)

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