Characterization of a Microwave Plasma Source using Cavity Resonator

김현태; 박용신; 성충기; 황용석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김현태 (서울대학교) 박용신 (서울대학교) 성충기 (서울대학교) 황용석 (서울대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 223 - 223 (1page)

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Development of a microwave plasma source based on a resonance cavity

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003933788

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