Multiple Internal Reflection Fourier-Transform Infrared Spectroscopy and Its Application to ALD Mechanism Studies

박선경; 이남수; 김윤수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박선경 (Rutgers University) 이남수 (충북대학교) 김윤수 (고려대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 145 - 145 (1page)

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박선경

소속기관 Rutgers University

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 3 이용수 23

이남수

소속기관 충북대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 3 이용수 23

Yoonsoo Kim

소속기관 경상대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 항공우주공학

논문수 65 이용수 2,174

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003933026

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상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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