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유병용 (한국과학기술연구원) 한일기 (한국과학기술연구원) 최원준 (한국과학기술연구원) 이정일 (한국과학기술연구원) 제라드 지보도 (IMEP-Minatec)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
136 - 136 (1page)

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