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저자정보
장원석 (한국기계연구원) 최대근 (한국기계연구원) 허갑수 (한국기계연구원) 정준호 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
128 - 128 (1page)

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