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저자정보
김준동 (한국기계연구원) 윤주형 (한국기계연구원) 송진원 (한국기계연구원) 이응숙 (한국기계연구원) 한창수 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
110 - 110 (1page)

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