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저자정보
노지환 (한국기계연구원) 이제훈 (한국기계연구원) 조일환 (한국기계연구원) 나석주 (한국과학기술연구소)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
4,137 - 4,140 (4page)

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A interference optical setup using beam splitter was made using CW laser(continuous laser) for exposing photo resist material. A four beam interference optical system for laser micro structuring using pulse laser was demonstrated inthis paper. The four beam interference optical system using pulse laser(picosecond laser) can fabricate micro structure on mold material(NAK80) directly. Micro structure on the polymer can be reproduced economically by injection molding of the micro structure on mold material. The four beam interference optical system was composed by the DOE(Diffractive Optical Element) and two lenses. Laser power distribution of peak pattern was made by the four beam interference optical system and measured by objective lens and CCD. pitch dot pattern on the mold material was fabricated and measured by SEM(Scanning electron microscopy).
#four beam interference #laser ablation process #DOE(Diffractive Optical Element) #mold surface micro pattern

목차

Abstract
1. 서론
2. DOE 을 이용한 interference 광학계 구성
3. DOE를 이용한 interference 광학계를 이용한 가공
4. 결론
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-550-003944465