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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이정두 (부산대학교) 왕치민 (부산대학교) 김광호 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제43권 제5호
발행연도
2010.10
수록면
238 - 242 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

하이브리드 코팅시스템에 의한 Cr-Si-O-N 코팅막 합성 및 기계적 성질
이정두 ,  왕치민 ,  김광호 한국표면공학회지 2010.10 학술저널
하이브리드 코팅시스템에 의한 Cr-Si-O-N 코팅막 합성 및 기계적 성질
이정두 ,  왕치민 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.05 학술대회자료

2009

Ti-Si-N코팅의 기계적 성질에 관한 온도와 기판 바이어스의 영향
이정두 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.10 학술대회자료

초록· 키워드

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In the present work, the influence of oxide on the Cr-Si-N coatings was investigated for the Cr-Si-O-N coatings on AISI 304 and Si wafer deposited by hybrid system, which combines the DC magnetron sputtering technique and arc ion plating (AIP) using Cr and Si target in an Ar/N₂/O₂ gaseous mixture. As the O content in the Cr-Si-N coatings increased, the diffraction patterns of the Cr-Si-O-N coatings showed CrN and Cr₂O₃ phases. However, as the O content increased to 28.8 at.%, diffraction peak of Cr₂O₃ was disappeared in the Cr-Si-O-N coating. The d200 value was decreased with increasing of O content. The average grain size increased from about 40 ㎚ to 65 ㎚ as the O content increased. The maximum micro-hardness of the Cr-Si-O-N coating was obtained 4507 Hk at the O content of 24.8 at.%. The average friction coefficient of the Cr-Si-O-N coatings was gradually decreased by increasing the O content and the average friction coefficient decreased from 0.37 to 0.25 by increasing the O content. These results indicated that amorphous phase was increased in the Cr-Si-O-N coatings by increasing of O content.
#Influence of oxide #Cr-Si-O-N #Hybrid system #Micro-hardness #Cr₂O₃ #Average friction coefficient #Amorphous

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (33)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - C. Rebholz / 1999 / / Surf. Coat. Technol. 115 : 222 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - J. Creus / 1998 / / Surf. Coat. Technol. 107 : 183 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - P. H. Mayrhofer / 2001 / / Surf. Coat. Technol. 146 : 222 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - B. Navinsek / 1997 / / Surf. Coat. Technol. 97 : 182 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - B. Navinsek / 1995 / / Surf. Coat. Technol. 74 : 919 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-581-003959430