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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.9
- 수록면
- 1,201 - 1,207 (7page)
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본 연구에서는 마이크로 시험편에 대하여 하중제어 인장-인장의 피로시험이 가능한 피로시험기를 개발하였다. 전자기식 액추에이터를 이용하였으며, 이 시험기를 이용하여 인장시험 뿐만 아니라 넓은 주파수 영역에서의 피로시험이 가능하다. 또한 피로시험중에도 고해상도로 마이크로 시험편의 되풀이 변형률을 측정할 수 있는 간섭변위계를 사용하였다. 피로시험기와 변위계는 안정적이고 그 응답속도도 매우 빨라서, 피로시험중에도 연속적으로 변위를 측정할 수 있다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 시험시스템
3. 시험결과 및 검토
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Weihs, T.P / 1988 / Mechanical Deflection of Cantilever Microbeams: a New Technique for Testing the Mechanical Properties of Thin Films / J Mater Res 3 : 931 ~ 942
2. [학술지(정기간행물)] - Schweitz, J.A / 1992 / Mechanical Characterization of Thin Films by Micromechanical Techniques / MRS Bull 17 : 34 ~ 45
3. [단행본] - Beams, J.W / 1959 / Structure and Properties of Thin Films / Wiley : 183 ~ 192
4. [학술지(정기간행물)] - Bromley, E.I / 1983 / A Technique for the Determination of Stress in Thin Films / J Vac Sci Technol B 1 : 1364 ~ 1366
5. [학술지(정기간행물)] - Tsuchiya, T / 1998 / Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films / JMicroelectromech Syst 7 : 106 ~ 113
2. [학술지(정기간행물)] - Schweitz, J.A / 1992 / Mechanical Characterization of Thin Films by Micromechanical Techniques / MRS Bull 17 : 34 ~ 45
3. [단행본] - Beams, J.W / 1959 / Structure and Properties of Thin Films / Wiley : 183 ~ 192
4. [학술지(정기간행물)] - Bromley, E.I / 1983 / A Technique for the Determination of Stress in Thin Films / J Vac Sci Technol B 1 : 1364 ~ 1366
5. [학술지(정기간행물)] - Tsuchiya, T / 1998 / Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films / JMicroelectromech Syst 7 : 106 ~ 113
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