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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
김호영 (한국과학기술연구원) 이윤표 (한국과학기술연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2001년도 열공학/유체공학 부문 공동 추계학술대회 논문집
발행연도
2001.9
수록면
308 - 314 (7page)

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Thermal bubbles find their diverse application areas in the MEMS (MicroElectroMechanial Systems) technology, including bubble jet printers, microactuators, micropumps, etc.. Especially, micro- actuators and micropumps, which use a microbubble growing by virtue of a controlled heat input, frequently involve mechanical and thermal interaction of the bubble with a solid structure, such as a cantilever beam and a membrane. Although the concept is experimentally verified that an internal pressure of the bubble can build up strong enough to deflect a thin solid plate or a beam, the physics of the entire process have yet been thoroughly explored. This work reports the experimental study of the growth of a thermal bubble while deflecting a thin cantilever beam. A physical model is presented to predict the elastic response of the cantilever beam based on the experimental measurements. The scaling law constructed through this work can provide a design guide for micro- and nano-systems that employ a thermal bubble for their actuation/pumping mechanism.
#Microbubble(미소액적) #Microactuator(마이크로구동기) #Cantilever beam(외팔보) #MEMS(미세기계전자시스템)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 결과
3. 이론 해석
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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