SEM 마스크 영상의 Critical Dimension 측정

이원석; 최지희; 정홍

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이원석 (포항공과대학교) 최지희 (포항공과대학교) 정홍 (포항공과대학교)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2010년 하계종합학술대회

발행연도: 2010.6

수록면: 102 - 104 (3page)

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2010

SEM 마스크 영상의 Critical Dimension 측정

이원석 , 최지희 , 정홍 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

SEM 마스크 영상의 Critical Dimension 측정

이원석 , 최지희 , 정홍 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

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논문수 30 이용수 2,423

최지희

소속기관 한성대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 7 이용수 288

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