선폭 sub-100㎚ 구현을 위한 나노 임프린팅 장비

이재종; 최기봉

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이재종 (한국기계연구원) 최기봉 (한국기계연구원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004년도 생산 및 설계공학부분 추계 Workshop

발행연도: 2004.11

수록면: 27 - 30 (4page)

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