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저자정보
이흥식 (인하대학교) 조종두 (인하대학교) 장성필 (인하대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2005년도 재료 및 파괴부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.8
수록면
62 - 66 (5page)

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Mechanical characteristics of stainless steel have been studied as a diaphragm and a substrate material for the MEMS devices. In the study, a fabrication process for stainless steel micro machined devices keeps the membrane and substrate being at the environment of 8.65 ㎫ pressure and 175℃ for a half hour and then subsequently cooled to 25℃. The finite element method is adopted to investigate residual stresses formed in the process. Besides, out-of-plane deflections are calculated under pressures on the diaphragm.
#MEMS(미세전자기계시스템) #Residual stress(잔류응력) #Finite element model(유한요소모델) #Stainless steele(스테인리스 강)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 공정
3. 이론적 모델
4. 유한요소 해석
5. 해석 결과
6. 결론
참고문헌

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