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남호준 (인천대학교) 반정현 (인천대학교) 김민영 (인천대학교) 한희민 (이엔테크놀로지) 김동성 (이엔테크놀로지) 김준석 (인천대학교)
저널정보
전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2010년도 전력전자학술대회 논문집
발행연도
2010.7
수록면
604 - 605 (2page)

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산업이 고도화 됨에 따라 박막 코팅에 대한 수요가 점차 증가하고 있으며 이에 따라 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터 시스템에 대한 수요 역시 증가하고 있다. 코팅 공정에서 가장 문제가 되는 것은 고압의 플라즈마 발생장치를 사용함으로써 야기되는 아크현상이라 할 수 있다. 따라서, 플라즈마 전원 장치의 핵심 기능 중의 하나는 아크 차단 성능이^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01474440');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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스퍼터용 플라즈마 전원장치의 아크방지를 위한 에너지 회생회로에 대한 연구
반정현 ,  한희민 ,  김준석 전기학회논문지 P 2012 .09

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