모듈화된 초소형 몰드 시스템(MSMS)을 이용한 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정

이봉기; 권태헌

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이봉기 (포항공과대학교) 권태헌 (포항공과대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제34권 제7호

발행연도: 2010.7

수록면: 859 - 866 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

모듈화된 초소형 몰드 시스템(MSMS)을 이용한 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정

이봉기 , 권태헌 대한기계학회 논문집 A권 2010.07 학술저널

2009

모듈화된 초소형몰드 시스템(MSMS)을 이용한 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정

이봉기 , 권태헌 대한기계학회 춘추학술대회 2009.11 학술대회자료

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본 연구에서는 다단 마이크로 구조물의 대량성형을 위하여, 모듈화된 초소형몰드 시스템(MSMS)을 이용한 초소형 사출성형 공정을 수행하였다. 본 연구에서 적용된 초소형몰드 시스템은 여러 모듈들로 구성되어 있으며, 각 모듈들은 다양한 단면 마이크로 구조물을 가지고 있다. 초소형몰드 시스템의 모듈들은 X-선 리소그래피 공정 및 니켈 전주도금 공정으로 제작되었으며, 다양한 모듈들을 조합 및 결합함으로써 복잡한 형상을 가지는 초소형몰드 시스템을 효과적으로 구현할 수 있다. 이와 같은 초소형몰드 시스템을 적용함으로써, 본 연구에서는 다단 구조물의 표면에 마이크로 삼각 프리즘이 주기적으로 배열되어 있는 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정을 성공적으로 수행하였다.

#Micromold System(초소형 몰드 시스템) #Microinjection Molding(초소형 사출성형) #Modularization(모듈화) #LIGA Process(리가 공정) #Multi-Level Microstructures(다단 마이크로 구조물)

참고문헌 (14)

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1. [학술대회논문] - Char, S. K / 2008 / Micropatterned Complex Optical Surface for Wide Angle Illumination / Proc. IEEE Optical MEMS : 37 ~ 38

2. [학술지(정기간행물)] - Lee, B.-K / 2009 / Fabrication of Polymer Micro/Nano Hybrid Lens Array by Microstructured Anodic Aluminum Oxide (AAO) Mold / Microelectron. Eng 86 (4) : 8578 ~ 860

3. [학술지(정기간행물)] - Kwon, J. W / 2002 / Multi-level Microfluidic Channel Routing with Protected Convex Corners / Sens. Actuator A-Phys 97 : 729 ~ 733

4. [학술지(정기간행물)] - Mai, J / 2007 / A Microfabricated Platform Probing Cytoskeleton Dynamics Using Multidirectional Topographical / Biomed. Microdevices 9 (4) : 523 ~ 531

5. [학술지(정기간행물)] - Lin, C.-Y / 2008 / Improvement of the Microcrystalline Cube Corner Reflective Structure and Efficiency / Jpn. J. Appl. Phys. 47 (7) : 5693 ~ 5701

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권태헌

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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