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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.4
- 수록면
- 20 - 25 (6page)
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평판형 rib 도파로의 설계 및 공정기술을 바탕으로 632.8 ㎚에서 동작하는 집적 마흐젠더 간섭계 센서(Mach-Zehnder interferometric sensor)를 제작하였다. 단일모드와 높은 감도의 두 가지 조건을 고려하여 실리카 계열(SiO₂-SiO<SUB>x</SUB>N<SUB>y</SUB>-SiO₂) rib 도파로를 설계하였고 박막증착, 사진제판, RIE (Reactive Ion Etching)와 같은 반도체 공정들을 이용해 그 기하학적 구조를 구현하였다. 제작된 rib 도파로의 광출력을 cut-back방법으로 분석한 결과, 약 4.82 ㏈/㎝의 전파손실을 측정하였다. 동시에 크롬 식각방지 층 공정을 도입하여 마흐젠더 간섭계 칩 위에 감지영역(sensing zone)을 형상화할 때 발생하는 코어 층 손상을 방지하였다. 제작된 마흐젠더 간섭계 센서를 이용한 증류수/에탄올 혼합물 굴절률 측정실험을 통해 약 π/(4.04×10<SUP>-3</SUP>)의 소자 감도(sensitivity)를 최종 확인하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 마흐젠더 간섭계 센서의 설계 및 공정
Ⅲ. 마흐젠더 간섭계 센서의 특성평가
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (12)
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1. [학술지(정기간행물)] - J. Pieher / 1997 / Characterization of grating couplers for affinity-based pesticide sensing / Appl. Optics 36 : 6554 ~ 6562
2. [학술지(정기간행물)] - A.Ymeti / 2007 / Fast,ultrasensitive virus detection using a Young interferometer sensor / Nano. Lett 7 (2) : 394 ~ 397
3. [학술지(정기간행물)] - F. Prieto / 2003 / An integrated optical interferometric nanodevice based on silicon technology for biosensor applications / Nanotechnol 14 : 907 ~ 912
4. [학술지(정기간행물)] - K. Schmitt / 2007 / Interferometric biosensor based on planar optical waveguide sensor chips for label-free detection of surface bound bioreactions / Biosens. Bioelectron 11 : 2591 ~ 2597
5. [학술지(정기간행물)] - J. Homola / 2003 / Present and future of surface plasmon resonance biosensors / Anal. Bioanal. Chem 377 (3) : 528 ~ 539
2. [학술지(정기간행물)] - A.Ymeti / 2007 / Fast,ultrasensitive virus detection using a Young interferometer sensor / Nano. Lett 7 (2) : 394 ~ 397
3. [학술지(정기간행물)] - F. Prieto / 2003 / An integrated optical interferometric nanodevice based on silicon technology for biosensor applications / Nanotechnol 14 : 907 ~ 912
4. [학술지(정기간행물)] - K. Schmitt / 2007 / Interferometric biosensor based on planar optical waveguide sensor chips for label-free detection of surface bound bioreactions / Biosens. Bioelectron 11 : 2591 ~ 2597
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