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학술대회자료
저자정보
임천배 (아주대학교) 이기근 (아주대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,515 - 1,516 (2page)

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A 440㎒ wireless and passive surface acoustic wave (SAW) based micro-sensor was developed for simultaneous measurement of temperature and humidity. The developed sensor is composed of a SAW reflective delay lines structured by an IDT (Inter-Digital Transducer), four reflectors and humidity sensitive film (polyimide). Polyimide was dry-ecthed by RIE (Reactive Ion Etching) to obtain high roughness, which gives the larg ... 전체 초록 보기

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