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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김강일 (아주대학교) 홍용철 (국가 핵융합 연구소) 김근영 (아주대학교) 양상식 (아주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제58권 제12호
발행연도
2009.12
수록면
2,474 - 2,479 (6page)

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This paper presents an atmospheric microplasma-jet device for bio-medical application. The microplasma-jet device consists of four components; a thin Ni anode, porous alumina insulator, a stainless steel cathode and an aluminum case. The anode has 8 holes, and hole diameter and depth are 200 ㎛ and 60 μm, respectively. The discharge test was performed in atmospheric pressure using nitrogen gas and AC voltage at the optimum gas flow rate of 4 l/min. The plasma-jet is ejected stably for the input voltage ranging from 5.5 to 9.5 ㎸<SUB>p-p</SUB>. The plasma becomes dense as the input voltage increases, which was verified by the hydrophilicity change of PMMA surface treated by the plasma. The temperature increasement of the aluminum film exposed to plasma-jet illustrates that the micro plasma-jet device is feasible for bio-medical application.

목차

Abstract
1. 서론
2. 소자의 구조와 제작공정
3. 플라즈마 분사 실험
3. 결론
참고문헌
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