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This paper reports on a flexible flap valve actuated by electromagnetic force under a constant pressure source. The flexible flap valve consists of the three main components: a flexible flap with a steel disk embedded in PDMS, an electromagnetic actuator and two glass plates with inlet and outlet. The flap valve is fabricated by SU-8 mold process, the EDM process and oxygen plasma treatment. The dimension of an assembled flap valve is 12 [㎜] × 20 [㎜] × 28 [㎜]. The stroke volume of the flap valve is measured for various pressures. And the time of the applied input voltage is varied to change the open time of the valve. When the input voltage of 30 [V] is applied for 0.25 [s], the minimum stroke volume of the flap valve is 40 [μL] at 70 [㎪].
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
참고문헌 (13)
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1. [학술지(정기간행물)] - Byunghoon Bae / 2002 / Feasibility Test of an Electromagnetically Driven Valve Actuator for Glucoma Treatment / J.Microelectromech.Syst. 11 (4) : 344 ~ 354
2. [학술대회논문] - Po-Ying Li / 2007 / An Electrochemical Intraocular Drug Delivery Device / 20th IEEE Conf. Microelectromech. Syst. : 15 ~ 18
3. [학술대회논문] - Didier M. / / A high-performance silicon micropump for disposable drug delivery systems / 14th IEEE Int. Conf. Microelectromech. Syst. : 413 ~ 417
4. [학술지(정기간행물)] - Sato K / 1994 / An electrostatically actuated gas valve with an S-shaped film element / J. Micromech. Microeng 4 : 205 ~ 209
5. [학술대회논문] - Yanagisawa K / 1993 / An electromagnetically driven microvalve / Proc. Transducers : 102 ~ 105
2. [학술대회논문] - Po-Ying Li / 2007 / An Electrochemical Intraocular Drug Delivery Device / 20th IEEE Conf. Microelectromech. Syst. : 15 ~ 18
3. [학술대회논문] - Didier M. / / A high-performance silicon micropump for disposable drug delivery systems / 14th IEEE Int. Conf. Microelectromech. Syst. : 413 ~ 417
4. [학술지(정기간행물)] - Sato K / 1994 / An electrostatically actuated gas valve with an S-shaped film element / J. Micromech. Microeng 4 : 205 ~ 209
5. [학술대회논문] - Yanagisawa K / 1993 / An electromagnetically driven microvalve / Proc. Transducers : 102 ~ 105
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