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조문철 (삼성전자) 이영범 (삼성전자) 배동호 (삼성전자) 김강원 (삼성전자) 김성진 (삼성전자)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2009년 하계종합학술대회
발행연도
2009.7
수록면
518 - 519 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

현상액 소모량 및 선 폭 좌/우 편차 최적화를 위한 Slit Nozzle 속도 와 유량 관계 연구
조문철 ,  이영범 ,  배동호 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2009.07 학술대회자료
현상액 소모량 및 선 폭 좌/우 편차 최적화를 위한 Slit Nozzle 속도와 유량 관계 연구
조문철 ,  이영범 ,  배동호 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2009.07 학술대회자료

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본 논문에서, 우리는 CD와 현상액 소비의 최적화를 위해 슬릿노즐의 Scan speed 와 현상액의 토출 유량의 관계 연구를 보고한다. Puddle 타입 현상 공정의 문제는 (1) 매우 많은 현상액 사용량과 (2) 기판의 시작부와 종료부의 CD에서 Uniformity 차이가 발생되는 ... 전체 초록 보기
#scan speed #developer consumption #critical dimension(CD) #photolithography

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