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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.2
- 수록면
- 27 - 32 (6page)
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본 논문은 반도체 공정에 사용되는 고속 EFEM(Equipment Front End Module) 장치의 새로운 성능평가시스템을 제안한다. 다관절 로봇으로 구성된 EFEM은 실리콘 웨이퍼 또는 포토마스크를 클린 스토리지캐리어와 각종 계측 및 테스팅 시스템 사이를 이동시키는 반도체 자동화의 핵심장치이다.
성능평가 시스템 개발을 위한 이론과 실험적인 연구가 수행되었고, 그 결과는 고속 EFEM 장치의 성능평가시스템이 적합함을 입증한다. 특히, WTO/TBT(Technical Barriers to Trade) 협정 및 PL(Product Liability)법에 대처하는데 매우 효과적이다.
성능평가 시스템 개발을 위한 이론과 실험적인 연구가 수행되었고, 그 결과는 고속 EFEM 장치의 성능평가시스템이 적합함을 입증한다. 특히, WTO/TBT(Technical Barriers to Trade) 협정 및 PL(Product Liability)법에 대처하는데 매우 효과적이다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 산업용 로봇의 성능평가 표준
3. 제안된 성능평가 시스템
4. 결론
References
저자소개
참고문헌 (7)
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1. [학술지(정기간행물)] - Young-Seok Kim / 2008 / The Characteristics of Arc Scattering and Fusing Current of Copper Wire in the Fault Process DB System of Cables in a PL Environment / 조명.전기설비학회논문지 22 (3) : 52 ~ 58
2. [학술지(정기간행물)] - 조정환 / 2008 / 부품․소재의 신뢰성 인증 제도 / 한국조명․전기설비학회 22 (5) : 10 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 문승빈 / 2008 / 지능형로봇 국내외 표준동향 / 정보과학회지 26 (4) : 79 ~ 88
4. [학술지(정기간행물)] - Sakai, H / 2007 / The robot reliability design and improvement method and the advanced Toyota production system / The Industrial robot 34 (4) : 310 ~ 316
5. [학술지(정기간행물)] - Oomichi, T / 2008 / System architecture for high reliability module mobile robot / Trans. Society of Instrument and Control Engineers 43 (8) : 689 ~ 698
2. [학술지(정기간행물)] - 조정환 / 2008 / 부품․소재의 신뢰성 인증 제도 / 한국조명․전기설비학회 22 (5) : 10 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 문승빈 / 2008 / 지능형로봇 국내외 표준동향 / 정보과학회지 26 (4) : 79 ~ 88
4. [학술지(정기간행물)] - Sakai, H / 2007 / The robot reliability design and improvement method and the advanced Toyota production system / The Industrial robot 34 (4) : 310 ~ 316
5. [학술지(정기간행물)] - Oomichi, T / 2008 / System architecture for high reliability module mobile robot / Trans. Society of Instrument and Control Engineers 43 (8) : 689 ~ 698
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