이트리아(Y₂O₃) 세라믹 래핑가공의 AE 신호 분석

차지완; 황성철; 신태희; 이은상

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자료유형: 학술저널

저자정보: 차지완 황성철 신태희 이은상 (인하대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회지 Vol.19 No.1

발행연도: 2010.2

수록면: 7 - 14 (8page)

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AE(acoustic emission) sensor has been used for a state monitoring and observation during a ultra-precision machining because AE signal, which has high frequency range, is sensitive enough. In case of ceramic fabrication, a monitoring of machining state is important because of its hard and brittle nature. A machining characteristic of ceramic is susceptibly different in accordance with variable machining conditions. In this study, Yttria(Y₂O₃) ceramic was fabricated using the ultra-precision lapping process with in-process electrolytic dressing(IED) method. And the surface machining characteristic and AE sensor signal were compared and analyzed.

#Yttria(Y₂O₃) #Lapping(래핑) #In-process electrolytic dressing(IED, 연속 전해드레싱) #AE(acoustic emission, 음향방출)

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1. [학술지(정기간행물)] - Stephenson, D. J / 2006 / A study on ELID ultra precision grinding of optical glass with acoustic emission / International Journal of Machine Tools and Manufacture 46 (10) : 1053 ~ 1063

2. [학술지(정기간행물)] - Chang, Y. P / 1996 / An investigation of the AE signals in the lapping process / Annals of the CIRP 45 (1) : 331 ~ 334

3. [단행본] - Noboru, I / 1987 / Introduction to Fine Ceramics: Applications in Engineering / John Wiley & Sons : 43 ~ 70

4. [학술지(정기간행물)] - Oh, S. Y / 2000 / Characteristics of Y2O3 buffer layer in MFIS structure / Inst. of Ind. Tech. Journal 20 : 205 ~ 212

5. [학술지(정기간행물)] - Katahira, K / 2005 / ELID grinding characteristics and surface modifying effects of aluminum nitride(AlN) ceramics / International Journal of Machine Tools and Manufacture 45 (7) : 891 ~ 896

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