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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.7
- 수록면
- 2,392 - 2,394 (3page)
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목차
Abstract
1. Introduction
2. Resonator design
3. Comb actuator design
4. Fabrication process
5. Conclusions
[참고문헌]
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