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이용수
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 해석 및 설계
Ⅲ. 제조공정
Ⅳ. 시험 및 측정
Ⅴ. 결론
후기
참고문헌
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A TUNABLE VIBRATORY MICROGYROSCOPE
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
An Electrostatically Tunable Resonant Microgyroscope
대한기계학회 기타 간행물
1996 .11
마이크로 가공기술의 현황과 미래의 마이크로 시스템 ( Progress in Micromachining and Future Micro System )
대한기계학회지
1993 .06
미세 펄스 전압을 이용한 마이크로 전해가공에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
진동형 마이크로 자이로스코프의 각속도 주파수 동역학적 모델의 도출 및 성능 해석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .01
마이크로 자이로스코프를 위한 제어기 설계 및 진공도에 따른 성능 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
전원특성에 따른 마이크로 전해가공에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
나노입자 및 미세가공기술 응용
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
마이크로머시닝 기술을 이용한 초소형 자이로센서의 연구동향
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
A Micromachined Silicon Mirror for Applications to Tunable Optical Switching Device
대한기계학회 기타 간행물
1996 .11
첨단레이저 응용 미세제거가공기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .01
우주 비행체용 자이로 개발 현황
항공우주산업기술동향
2007 .12
3차원 마이크로 가공을 위한 새로운 접근법
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2001 .11
표면 미세 가공기술을 이용한 마이크로 캔틸레버의 제작과 바이오센서로의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
Silicon Micromachining
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
표면미세가공시 발생하는 MEMS 구조물의 변형 억제
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .08
레이저를 이용한 3차원 형상가공에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .11
표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )
대한기계학회 논문집 A권
2001 .03
미세 패턴 가공을 위한 연삭 패턴의 정식화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
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