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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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DRAM용 PZT(52/48)박막 캐패시터의 전기적 특성
전기학회논문지
1997 .07
2단계 스퍼터링에 의한 PZT박막의 유전특성
대한전자공학회 학술대회
2004 .06
초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )
전자공학회논문지-A
1995 .12
조성 변화를 통한 PZT 박막의 유전 및 피로 특성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 후막의 유전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
PZT 박막 캐패시터의 전기적성질과 응력에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성
전기학회논문지 C
2000 .02
Sol-Gel법으로 제작한 PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 박막의 구조 및 유전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교
대한기계학회 논문집 A권
2002 .06
PZT박막 Capacitor에 관한 기초연구(I)
한국재료학회지
1993 .01
PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2006 .01
PZT-5A 탐촉자의 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
PZT박막의 시간에 따른 표면특성열화에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
솔젤법에 의한 제작된 PZT 박막의 특성
전기학회논문지 P
2001 .12
다공질 압전 세라믹 PZT의 유전 및 압전 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
Sol-Gel법으로 제작한 PZT(30/70)/PZT(70/30) 이종층 박막의 구조 및 유전특성
전기학회논문지 C
1999 .07
유리 기판 위에서의 PZT 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
하부전극 변화에 따른 PZT 박막 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
다층 PZT(20/80)후막과 PZT(80/20)박막의 소결온도에 따른 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
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