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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 E
발행연도
1999.7
수록면
2,253 - 2,255 (3page)

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1. 서론
2. 플라즈마 이온주입 장치
3. 표면 특성 실험
4. 결론
[참고문헌]

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