PECVD Ammonia-free SiN막의 계면 상태 ( Interface State Density of PECVD Ammonia-free SiN )

오재하 ,  박영우 ,  성영권

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Laser assisted PECVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김천섭 ,  이동희 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

HD-PECVD법으로 제작한 SiN 박막의 특성

임영택 ,  신백균 ,  박구범 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

Neural Network Modeling of PECVD SiN Films and Its Optimization Using Genetic Algorithms

Seung-Soo Han

INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS

2001 .06

PECVD의 주파수 조건에 따른 $SiN_x$막 증착

최정호 ,  노시철 ,  정종대 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Laser Assisted PECVD Sin막의 경시적 열화에 관한 시간 의존성의 통계적 고찰

김천섭 ,  김용우 ,  이승환 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD Sin막의 Breakdown 과 Wearout현상 ( Breakdown and Wearout of PECVD Sin Film )

이상훈 ,  김종관 ,  성영권

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

폐수 내 고농도 free ammonia(FA)가 미세조류의 성장 및 기질제거에 미치는 영향 평가

김은지 ,  조재형 ,  노경호 외 2명

상하수도학회지

2016 .01

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

LPCVD, PECVD, ECR Plasma CVD를 이용한 SiN막질의 비교

이태호 ,  이규한 ,  이승윤 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

Low voltage stability of a-Si:H TFTs with $SiN_x$ dielectric films prepared by PECVD using Taguchi methods

Wu ,  Chuan-Yi ,  Sun 외 5명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

PECVD법에 의한 나노클러스터의 형성 및 메카니즘

윤용섭

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2012 .10