13.56㎒ ICP에서 단일 탐침법에 의한 Ne 가스의 발광특성 연구

조주웅 ,  최용성 ,  김용갑 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .11

유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구

차주홍 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .07

유도결합형 플라즈마에서의 Ne, Ar, Kr 혼합가스 방전특성

허인성 ,  최용성 ,  이종찬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .11

ICP 광원 시스템의 Ne:Xe Ne:Ar 혼합가스의 전자온도 및 전자밀도의 특성 연구

최기승 ,  이종찬 ,  최용성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

ICP 광원 시스템의 Ne:Xe 및 Ne:Ar 혼합가스의 전자온도의 전자밀도 특성

崔起承 ,  李鐘餐 ,  崔龍成 외 1명

전기학회논문지 C

2006 .03

유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석

조주웅 ,  이영환 ,  허인성 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구

차주홍 ,  한문기 ,  서권상 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH₂F₂/O₂/Ar Plasma

Jinyoung Son ,  Junmyung Lee ,  Inwoo Chun 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용

고동찬 ,  김용제

한국지하수토양환경학회 학술발표회

2003 .01

유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석

趙胄雄 ,  李永煥 ,  金光洙 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .03

Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정

李永煥 ,  金光洙 ,  趙胄雄 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .11

선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구

차주홍 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10

간단한 RF 보상 정전탐침법을 이용한 유도결합형 플라즈마 특성 연구

김윤기 ,  위성석 ,  김태환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성

허인성 ,  박대희 ,  이영환 외 1명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정

이영환 ,  조주웅 ,  김광수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구

김경현 ,  김관용 ,  이효창 외 1명

KEPCO Journal on electric power and energy

2015 .01

평등 및 불평등 전계하에서 순수 Ar, N₂ 가스와 Ar/N₂ 혼합 가스의 교류절연파괴 특성

이상우 ,  김인식 ,  이동인 외 2명

조명·전기설비학회논문지

2001 .09

Ar 가스 압력과 RF 전력변화에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H모드 변환의 광학적 특성

許寅盛 ,  趙胄雄 ,  李永煥 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .01

Synthesis of Poly(arylene ether amine)s through Nucleophilic Aromatic Substitution Reaction (S_NAr)

이몽섭 ,  김윤준 ,  서명은 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

강성칠 ,  권광호 ,  이윤찬 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01