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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 전기물성·응용부문회 2002 추계학술대회 논문집
발행연도
2002.11
수록면
54 - 56 (3page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 센서의 구조
3. 제작공정
4. 측정 및 결과
5. 진공주파수 측정
6. 측정결과
7. 결론
[참고문헌]

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