Diagnosis of Plasma Equipment Using Neural Network Recognition of Radio Frequency Impedance Matching

Byungwhan Kim

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

Effect of Process Parameters on Plasma Equipment in a Cl₂ Inductively Coupled Plasma

Sang Hee Kwon ,  Byung Whan Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Development of an Artificial Neural Network based Pattern Recognition System for Diagnosis and Monitoring of Electrical Motor

Kyu Bock Cho ,  Seong Sik Min ,  Kyu Chan Lee

ICONIP : International Conference On Neural Information Processing

1994 .01

임피던스 변화를 이용한 선형 대기압 DBD 플라즈마 밀도 측정

신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

전송선로를 이용한 플라즈마 전력 전달 연구

박인용 ,  이장재 ,  김시준 외 4명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Plasma Control Using a Linear Quadratic Regulated RF Impedance Match Process

Byungwhan Kim ,  Jang Hyun Pa ,  k 외 2명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

모니터링 기반 항공부품용 티타늄 합금 가공 시 Neural Network 를 이용한 공구 상태 진단 연구

김미루 ,  이훈희 ,  김동민 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

Condition Monitoring of Check Valve Using Neural Network

Seung-Youn Lee ,  Jeong-Seob Jeon ,  Joon Lyou

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

Front Points Tracking in the Region of Interest with Neural Network in Electrical Impedance Tomography

K.H. SEO ,  H.J.JEON ,  J.H.KIM 외 4명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

Plasma Impedance Monitoring for RF Plasma Etching Endpoint Detection of Dielectric Layers with Real-time Cluster Analysis

Haegyu Jang ,  Heeyeop Chae

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Multiple Fault Diagnosis Method Using a Neural Network

Sanggyu Lee ,  Sunwon Pa ,  k

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1993 .10

평판형 유도 결함 플라즈마 장치에 대한 Alternate type Impedance matching 회로 분석

이종규 ,  권득철 ,  유동훈 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

Neural Network을 이용한 pattern Matching Processor 설계 ( Design of Pattern Matching Processor Based on Neural Network Model )

노윤혁 ,  김봉열 ,  이문기

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

Neural Network 을 이용한 Pattern Matching Processor 설계 ( Design of Pattern Matching Processor Based on Neural Network Model )

노윤혁 ,  김봉열 ,  이문기

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

플라즈마 증착 장비 센서 정보의 신경망 시계열 모델링

김유석 ,  김병환 ,  권기청 외 2명

정보 및 제어 논문집

2006 .04

400 kHz 페라이트 유도 결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01

전력감시진단종합 시스템

방순정 ,  진문광 ,  이석찬 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

On-line Training of Neural Network for Monitoring Plant Transients

P.V. Va ,  de ,  B.S. Moon 외 1명

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2003 .05

무선전력전송을 위한 Adaptive impedance matching circuit

박종혁 ,  민병욱

대한전자공학회 학술대회

2017 .06

신경망과 주사전자현미경을 이용한 플라즈마 진단

배중기 ,  김병환

정보 및 제어 논문집

2006 .04