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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.11
- 수록면
- 2,288 - 2,294 (7page)
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The application of conventional transfer systems, such as roller and belt conveyor, to semiconductor, LCD, and OLED manufacturing, which require a very high level of cleanness becomes difficult due to the presence of particles in their mechanical contact. As an alternative, non-contact transfer systems based on magnetic levitation and linear drive are being employed to reduce the influence of particles. However, this type of transfer system may have mechanical vibration problems induced by levitation control.
The objective is to analyze the mechanical vibration induced by the levitation control of the transfer system with a long-stator LSM. To do this, the vibration responses are analyzed, both numerically and experimentally. In addition, the effect of the gains of PID levitation controller on vibration and the proper gains are determined for lowering vibration. Through this, the relationship between the levitation control and mechanical vibration can be clearly understood.
The objective is to analyze the mechanical vibration induced by the levitation control of the transfer system with a long-stator LSM. To do this, the vibration responses are analyzed, both numerically and experimentally. In addition, the effect of the gains of PID levitation controller on vibration and the proper gains are determined for lowering vibration. Through this, the relationship between the levitation control and mechanical vibration can be clearly understood.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템의 구성
3. 진동 실험
4. 결론
참고문헌
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