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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
3,104 - 3,107 (4page)

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Nanomechanical resonators have attracted much attention in the last decade due to superior performance with high sensitivity and high oscillation frequency. In this paper, we propose carbon-based high frequency nanomechanical resonators by utilizing pyrolyzed carbon layers with embedded single walled carbonnanotube (swCNT) layers. SwCNTs are used as a reinforcement material and also lower the density of the resonator. Dynamic behaviors of the fabricated resonators, including fundamental frequency, Q-factor, and frequency tuning characteristics were investigated using magnetomotive dynamic flexural measurements. We believe that the carbon-based nanomechanical resonators have promising applications in sensitive nanodevices with low power consumption. These materials are also ideal because of the low-cost batch processing capability and could be an alternative for silicon-based nanodevices.
#Nanomechanical resonators (나노역학공진기) #Carbon devices(탄소소자) #Carbonnanotube composite(탄소나노튜브 복합재료)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작
3. 실험 및 결과
4. 결론
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-019131233