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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
3,031 - 3,034 (4page)

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Transferring nano- and micro-scale objects is one of the promising techniques for fabricating the nanoand micro-scale devices. The key element of the transfer is the control of adhesion for picking and placing the objects. In the picking and placing processes, the adhesion should be actively-controlled for successful transfer of the objects. In this study, we develop an apparatus for transferring nano-thick objects from one substrate to the other. By incorporating the optical microscope, multi-axis alignment stage, a vertical stage with high capacity of acceleration and a load-cell, the transferring process of the objects can be activelycontrolled. The adhesion of the objects can be controlled by adjusting the unloading velocity of the vertical stage, and the corresponding adhesion force is measured during the transfer. The mechanism of contact and detach between the mold and the objects are observed in-situ using the optical microscope installed on the transfer apparatus.
#Transfer printing(전사 공정) #Adhesion force(점착력) #Rate-dependency(속도 의존성)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시편 제작
3. 실험 방법
4. 실험 결과 및 고찰
5. 결론
후기
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