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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
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Pyrazine에 의한 TMAH / IPA의 이방성 식각특성 개선 ( Improvements of TMAH / IPA Anisotropic Etching Characteristics by Pyrazine )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
다이어프램 두께제어를 위한 TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법에 관한 연구 ( A Study on Electrochemical Etch-Stop in Aqueous TMAH / IPA / Pyrazine Solution for Diaphragm Thickness Control )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구
전자공학회논문지-SD
2004 .03
TMAH를 이용한 채널 방향에 따른 실리콘 식각 특성 분석
대한전자공학회 학술대회
2018 .06
TMAH/AP 용액의 실리콘 이방성 식각특성 및 다이아프램 제작에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
2003 .07
이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
A study on the corner compensation in anisotropic TMAH etching for pendulum structure
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH/AP 식각특성
한국반도체장비학회지
2003 .01
펜듈럼 구조체 제작을 위한 TMAH 습식 식각 시 모서리 보상에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH 의 식각특성 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
TMAH 습식 식각 기술을 이용한 탄소나노튜브 전계방출 삼극관의 전자방출 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Normally-Off AlGaN/GaN-based MOSHEMT by Using One-Step TMAH Wet Etching
대한전자공학회 학술대회
2016 .11
멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각
한국반도체장비학회지
2003 .01
단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
단결정 실리콘의 이방성 식각특성
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
Immobilized cell을 이용한 고정상반응기에서의 TMAH제거 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2007 .12
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