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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
金載赫 (홍익대학교) 陳相逸 (홍익대학교) 金榮珉 (홍익대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제57권 제7호
발행연도
2008.7
수록면
1,218 - 1,222 (5page)

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We investigate the effect of rise time of a pulse bias voltage on atmospheric plasma generation. With the faster rise time of the pulse bias, the glow discharge appears to be more uniformly generated along the electrodes. I-V measurement confirms that higher loading power can be obtained using the faster rise time. A new understanding for atmospheric plasma generation at a micro-gap electrode is suggested.
#MEMS #Electroplating #Self-aligned #Discharge #Plasma

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경 및 제시
3. 마이크로 플라즈마 발생 소자
4. 플라즈마 발생 측정 실험 및 결과
5. 인가전압 시스템에 대한 시뮬레이션
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - S.-J. Park / 2001 / / Appl. Phys. Lett 78 : 4 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - T. Yokoyama / 2005 / / J. Phys. D 38 : 1684 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - H. Park / 2003 / / Appl. Phys. Lett 82 : 19 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S,H.Han / 2007 / / Journal of Vacuum Science and Technology 25 : 286 ~ 288 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - S.L.Yao / 2001 / / energy & Fuels 15 : 1300 ~ 1303 google schola

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