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TiO₂-V₂O? sol was fabricated using sol-gel method and TiO₂-V₂O? thin films were fabricated using dip-coating method. V₂O? sol was added 0.01mole, 0.03mole, 0.05mole into TiO₂ sol. As a results of crystalline properties, V₂O? peaks were not found in spite of V₂O? additive. Thickness of thin films increased 0.1-0.25μm every a clipping. Capacitance of thin films increased with increasing heat treatment temperature and it increased largest at 700℃. Capacitance of thin films decreased with increasing V₂O? additive and it increased largest at 0.01mole. Because adsorption time and desorption time of thin films was about 2 minutes 40 seconds and about 3 minutes 40 seconds respectively, adsorption time was faster about 1 minutes than desorption time.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
참고문헌 (10)
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1. [학술지(정기간행물)] - K. Katayama / 1990 / Humidity sensitivity of Nb2O5-doped TiO2 ceramics / Sensors and Actuators A 24 : 55 ~ 60
2. [학술지(정기간행물)] - T. Y. Kim / 1992 / Effects of alkaline oxide additives on the microstructure and humidity sensitivity of MgCr2O4-TiO2 / Sensors and Actuators B 9 : 221 ~ 225
3. [학술지(정기간행물)] - T. Seiyama / 1983 / Ceramic humidity sensors / Sensors and Actuators 4 : 85 ~
4. [기타자료] - M. C. Glenn / 1985 / “An IC compatible polymer humidity sensor”, Transducer ́85, PA. USA, p.217, 1985
5. [학술지(정기간행물)] - 須藤 儀一 / 1980 / セラミック感濕素子 / 電子材料 19 (9) : 74 ~ 78
2. [학술지(정기간행물)] - T. Y. Kim / 1992 / Effects of alkaline oxide additives on the microstructure and humidity sensitivity of MgCr2O4-TiO2 / Sensors and Actuators B 9 : 221 ~ 225
3. [학술지(정기간행물)] - T. Seiyama / 1983 / Ceramic humidity sensors / Sensors and Actuators 4 : 85 ~
4. [기타자료] - M. C. Glenn / 1985 / “An IC compatible polymer humidity sensor”, Transducer ́85, PA. USA, p.217, 1985
5. [학술지(정기간행물)] - 須藤 儀一 / 1980 / セラミック感濕素子 / 電子材料 19 (9) : 74 ~ 78
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