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In this paper, we have studied the basic discharge characteristics of ac-type cylindrical microcavity structure. The structure has a two electrodes, which are positioned in the bottom of the cavity and in the side wall of the cylinder, respectively. The discharge showed asymmetric phenomena depending on the position of a cathode electrode. When the bottom electrode was a cathode, the discharge was stronger even though the area of the cathode was smaller than that of the anode. Simulation results revealed that the focused electric field toward the bottom electrode increased ion density in the space which in tum strengthened the cathode sheath and ionization process.
목차
Abstract
1. 서론
2. 수치해석 모델
3. 수치해석 결과
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
참고문헌 (7)
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1. [학술지(정기간행물)] - K.H. Schoenbach / 1997 / High-pressure hollow cathode discharge / Plasma sources Sci. Technol 6 : 468 ~ 477
2. [학술지(정기간행물)] - K.H. Schoenbach / 2000 / Microhollow cathode discharge excimer lamps / Physics of Plasma 7 (5) : 2186 ~ 2191
3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Park / 2007 / Large scale arrays of microcavity plasma devices based on encapsulated Al/Al2O3 electrodes: Device characteristics as a plasma display pixel and low cost wet chemical fabrication processing / Digest of Technical Papers- SID 38 (1) : 538 ~ 541
4. [학술지(정기간행물)] - P.S. Kothnur / 2005 / Two-dimensional simulation of a direct-current microhollow cathode discharge / J. Appl. Phys 97 : 043305 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M.J.Kushner / 2004 / Modeling of microdischarge devices: Pyramidal structures / J. Appl. Phys 95 (3) : 846 ~ 858
2. [학술지(정기간행물)] - K.H. Schoenbach / 2000 / Microhollow cathode discharge excimer lamps / Physics of Plasma 7 (5) : 2186 ~ 2191
3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Park / 2007 / Large scale arrays of microcavity plasma devices based on encapsulated Al/Al2O3 electrodes: Device characteristics as a plasma display pixel and low cost wet chemical fabrication processing / Digest of Technical Papers- SID 38 (1) : 538 ~ 541
4. [학술지(정기간행물)] - P.S. Kothnur / 2005 / Two-dimensional simulation of a direct-current microhollow cathode discharge / J. Appl. Phys 97 : 043305 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M.J.Kushner / 2004 / Modeling of microdischarge devices: Pyramidal structures / J. Appl. Phys 95 (3) : 846 ~ 858
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