SiO<SUB>x</SUB>F<SUB>y</SUB>/a-Si 구조에 엑시머 레이저 조사에 의해 불소화된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성과 신뢰도 향상

金天弘; 全宰弘; 柳俊錫; 韓民九

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저자정보: 金天弘全宰弘柳俊錫韓民九

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 C 전기학회논문지 제48C권 제9호

발행연도: 1999.9

수록면: 623 - 627 (5page)

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