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한국조명·전기설비학회 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 한국조명·전기설비학회 2009 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
399 - 401 (3page)

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Transparent conductive metal oxide films of In₂-<SUB>x</SUB>Ti<SUB>x</SUB>O₃ (ITiO) and In₂-<SUB>x</SUB>Sn<SUB>x</SUB>O₃ (ITO) were deposited by RF magnetron sputtering at substrate temperature of 300℃ and at high rate (~10㎚/min). Electrical and optical properties of the films were investigated as well as film structure and morphology, as it is compared with the commercial ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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