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자료유형
학술저널
저자정보
김정균 조성천 이선규 (광주과학기술원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.11
발행연도
2009.11
수록면
138 - 145 (8page)

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A suspended membrane micro fluidic heat flux sensor that is able to measure the heat flow rate was designed and fabricated by a complementary-metal-oxide-semiconductor-compatible process. The combination of a thirty-junction gold and nickel thermoelectric sensor with an ultralow noise preamplifier, low pass filter, and lock-in amp has enabled the resolution of 50 ㎻ power and provides the sensitivity of 11.4 ㎷/㎼. The heater modulation method was used to eliminate low frequency noises from sensor output. It is measured with various heat flux fluid of DI-water to test as micro fluidic application. In order to estimate the heat generation of samples from the output measurement of a micro fluidic heat-flux sensor, a methodology for modeling and simulating electro-thermal behavior in the micro fluidic heat-flux sensor with integrated electronic circuit is presented and validated. The electro-thermal model was constructed by using system dynamics, particularly the bond graph. The electro-thermal system model in which the thermal and the electrical domain are coupled expresses the heat generation of samples converts thermal input to electrical output. The proposed electro-thermal system model shows good agreement with measured output voltage response in transient state and steady-state.
#Heat Flux Sensor (열유속 센서) #Heater Modulation (히터 모듈레이션) #Thermopile (서모파일)

목차

1. 서론
2. 센서 원리
3. 센서 제작
4. 센서특성 검출방식
5. 센서 시스템 모델링
6. 결론
후기
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