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이 논문의 연구 히스토리 (5)
2009
간섭무늬 신호 처리 및 점 노이즈 처리를 통한 백색광 간섭계의 성능 향상
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
한국통신학회 기타 간행물
2009.12
학술대회자료
가간섭 영역 외의 배경 잡음성 간섭무늬 신호 필터링을 통한 백색광 주사간섭계의 성능 향상
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
한국광학회지
2009.10
학술저널
마이크로 소자의 표면 패턴 측정을 위한 백색광 간섭계의 신호 처리 방법
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
대한전자공학회 학술대회
2009.07
학술대회자료
마이크로 소자의 표면 패턴 측정을 위한 백색광 간섭계의 신호 처리 방법
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
대한전자공학회 학술대회
2009.07
학술대회자료
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본 논문에서는 백색광 간섭계(White Light Interferometry, WLI)의 데이터 처리 과정에서 가간섭 영역 외의 배경 잡음성 신호 필터링을 통하여 백색광 주사 간섭계의 성능을 향상시켰다. 광학계의 개구수(Numerical Aperture, NA)가 유한한 백색광 간섭계의 경우, 단차가 크고 표면 굴곡이 심한 시료를 측정하게 되면 유한한 초점심도(Depth Of Focus, DOF)에 의하여 배경 잡음이 발생하며, 반사가 심한 경면의 경우에는 간섭무늬 신호보다 배경 잡음의 영향을 많이 받게 된다. 따라서 배경 잡음을 제거하기 위하여 간섭무늬 신호 자체 형상에 영향을 주지 않으면서 효율적으로 배경 잡음 필터링이 가능한 전후 구간 평균법을 제시하였다. 전후 구간 평균법은 원 데이터와 그 이동평균과의 차이를 이용하는 방법으로, 고속으로 대략적인 정점의 위치를 파악한 후 정밀도가 높은 가시도 정점 검출 알고리즘으로 처리하여 측정 속도와 정밀도를 높였다. 전후구간 평균법을 이용하여 배경 잡음을 제거한 경우, 제거하지 않은 경우와 비교하여 잡음 화소가 약 1/4로 감소되었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 백색광 간섭계의 기본 원리
Ⅲ. 백색광 간섭계의 설계 및 제안된 간섭무늬 필터링 방법
Ⅳ. 결론
감사의 글
References
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