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대한전기학회 전기의세계 電氣學會誌 第32卷 第10號
발행연도
1983.10
수록면
38 - 47 (10page)

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목차

1. 序論
2. 플라즈마 성장의 원리와 장치
3. 플라즈마 成長膜의 特性
4. PD SiN 및 SiO₂막의 반도체소자에 응용
5. 結論
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